涡旋真空泵的结构特点
涡旋真空泵主要由5 个部件组成：
（1）动静涡旋盘副与基座；一个或几个渐开线螺旋形成的一个涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错, 两者之间保证180°相位差组成的一对涡旋盘副机构。
（2）曲轴：保证动涡旋盘绕静涡旋盘转动的偏心机构。
（3）密封件：保证动、静盘的端面齿顶密封等的密封装置。
（4） 防自转机构：保证动、静盘180°相位差的机构。
（5）电机：输出约1500r/min的动力机构。
它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低。采用空气冷却，无需水冷。
涡旋式真空泵
涡旋式真空泵是新一代的真空泵。它具有很高的压缩比，在较宽的压力范围内有稳定的抽速，涡旋式真空泵是两条渐开线螺旋曲线盘构成，即一个静涡旋盘和一个动涡旋盘。动涡旋盘作偏心安装，静涡旋盘与动涡旋盘便形成月芽形腔体。随着动涡旋盘转动，月芽形腔体不断向里旋转压缩，然后从中间排出至出气口。动涡旋盘连续运转，气体不断从进气口吸入、压缩，由出气口排出，形成真空。
涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:
品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。
科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。
电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。
航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。
冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。
核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体
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