北京科创鼎新真空技术有限公司

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  • 主营产品:氦检漏设备,氦质谱检漏仪,LNG抽真空设备
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氦气检漏的主要技术性能

1.真空箱尺寸根据电芯尺寸确定;

2.一般为三箱联动系统,生产节拍可满足单台6PPM—12PPM;

3.开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式;

4.上下料采用机械手或机器人,正常生产时设备无需人工操作;

5.系统配置二维码扫描装置,可将每个电芯的检测数据对应存储;

6.具有清氦功能

7.具有氦气回收功能(此功能可选)

8.自动判断,并对应放置(即不合格品放于不合格线,合格品放于合格线)

9.可通过触摸屏设置不同等级密码,更改设备参数;

10.人机交互界面,触摸屏实时反映运行状态和测试数据;

11.故障统计功能

12.系统采用配置和标准化设计制作,确保运行稳定。

今天和大家分享的是氦气检漏的性能指标,想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询!



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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。


氦质谱检漏仪

充氦法

的整体检漏就是可以用这种方法,将放入大型环模室中,利用环模设备的真空系统将环模抽成真空,先用辅助泵进行粗抽和预抽,在检漏时先通过机械泵将及充气管道抽成真空后,将氦气充入中,压力保持和工作的压力一致,开启氦质谱检漏仪用标准漏孔校准仪器,就可以直接测量的漏率了。

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