涡旋真空泵的应用领域
涡旋泵已被广泛应用于半导体行业：薄膜制造设备、半导体器件封装设备。科学仪器行业：同步辐射光束线机、电子显微镜、极光试验设备、分析测试仪器。机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备、超高真空排气设备。医院设备行业：透析机、生物制备与药品制备。包装行业：食品、药品、生物制品包装设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统很好的配置。
涡旋真空泵
液体在叶片进口冲角很大时，液体脱离叶片形成旋涡，这种旋涡的矢量方向与叶片的进口边是平行的，即与叶轮径向方向平行，称为径向旋涡。径向旋涡随时间而增大，周期性的脱离叶片被液流带走，如果被带入流道内，则起着传递能量的作用，如果带入叶轮内，则不起任何补充传递能量的作用。旋涡泵工作时产生纵向和径向旋涡是同时作用的，哪一种旋涡占优取决于叶轮和流道几何尺寸的比例及形状。
纵向旋涡的强弱，与流道内液体的流速有关，与流量有关。随着流量的增加，纵向旋涡减弱，流量趋近于零时，离心力相差大，纵向旋涡强，扬程越高。
涡旋真空泵组成与工作原理
无油涡旋真空泵由泵头、电机、机座等构成。泵头含有动、定涡旋盘、曲轴、密封件、风扇和泵壳等。涡旋盘为圆形平面和其上伸出的一条或几条渐开线螺旋形盘壁组成，定涡旋盘与动涡旋盘组成涡旋盘付构成无油涡旋真空泵的基本抽气机构。工作过程中动、定涡旋盘互不接触，依靠相对运动形成容积不断缩小的新月形吸气腔和压缩腔，通过吸气、压缩、排气的循环，使气体从抽气口吸入、排气口排出，实现对被抽腔体抽真空。
主要用途
真空镀膜机，分析测试仪器，真空排气/回收装置，真空炉，排气台，高能束线，等离子清洗，检漏仪，真空包装机，真空吸附搬运。
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