真空箱式氦检漏设备【安装调试】
1、交易完成后，供方负责给需方安装调试。
2、供方将在合同签定后尽快向需方提供设备外形尺寸、设备电功率、供电位置、用水（气）压力、用水（气）量、管径等。设备到货后，供方在7天内尽快安装完成，并由用户进行水、电、气等的配套安装之后，供方再对设备进行调试。
3、保证需方及时方便地使用设备。
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，油箱氦检漏设备，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，密封焊接件氦检漏设备，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，蒸发器氦检漏设备，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪，该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，氦检漏设备，因而具有较高的灵敏度，但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通，因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管，不会对系统有污染，因此被广泛采用，已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样，分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出，污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
真空箱式氦检漏系统【工作环境】
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真空箱式氦检漏系统【工作环境】
工作环境:
1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。
2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；
3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；
4、待检工件要求清洁、干燥。
5、环境温度： 5 ℃ ～ 35 ℃；
6、相对湿度： ≤80%；
7、氦气源及减压器：氦气纯度为 99％。
8、设备应安装在通风良好的厂房内。
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