氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
1.氦质谱检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。
2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。
3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。
4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。
5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。
6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。
7.氦质谱检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。
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