2024.01.13
真空箱氦检漏设备是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。
真空箱氦检漏设备由离子源、分析器、收集器、冷阴及电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
真空箱氦检漏设备检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴级电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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