北京科创鼎新真空技术有限公司

半导体氦检漏设备的优势

2023.10.27

半导体氦检漏设备适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用,抗震性能强,可重复使用多年,仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠,保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件,如果没达到相应的条件,很可能造成严重后果。

半导体氦检漏设备电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方,特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座,应符合要求,地线良好,通风间距约30cm。

放置半导体氦检漏设备,以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔,可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前,确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。


①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。

②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

半导体氦检漏设备应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。