氦检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。逆扩散原理如图所示。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
氦检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。氦质谱检漏仪坚固耐用，抗震性能强，可重复使用多年，仍保证高精度检漏率。氦质谱检漏仪质量可靠，保证了广泛的市场应用。但是使用氦质谱检漏需要具备一定的条件，如果没达到相应的条件，很可能造成严重后果。
氦检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用环境要求的地方，特别是氦质谱泄漏检测器的电源插座，应符合要求，地线良好，通风间距约30cm。
放置氦检漏仪，以避免倾斜或倾的危险。氦质谱泄漏检测器底部有一个安装孔，可以固定在桌子或支架上。在仪器运行前，确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须使用机械泵型号的特殊油。
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