氦质谱检漏仪
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氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率高,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
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氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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氦质谱检漏的应用
氦质谱检漏常用的操作方法
板式换热器的体积及换热面积较大,如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空,其不能满足检漏口真空度的要求,这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法,如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。
喷吹法
该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口,用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通,然后用喷枪向漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时,氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。