氦质谱检漏仪

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

今天和大家分享的是氦质谱检漏仪的操作方法，希望对大家有所帮助！

氦质谱检漏的应用

氦质谱检漏常用的操作方法

板式换热器的体积及换热面积较大，如果单依靠氦质谱检漏仪抽取真空，其不能满足检漏口真空度的要求，这样需要另接抽真空机组。板翅式换热器的氦质谱检漏一般采用喷吹法和钟罩法，如检查内漏还可以采用吸入法进行检漏。

喷吹法

该方法是将被检件接在检漏仪的检漏口，用仪器的真空系统对其抽真空并达到真空衔接与质谱管沟通，然后用喷枪向漏孔喷吹氦气。当有漏孔存在时，氦气就通过漏孔进入质谱管被检测。

吸枪法

吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。

吸枪法（正压法）检漏，用纯氦检时，可使用氦气回收装置，重复使用，以降低使用成本。或使用浓度不低于5~10%的氦气混合气体，使用完后，可直接向大气中排放，要注意周围环境中的氦气的浓度，注意周围环境中空气的流动情况，因为这会影响到吸枪法的检测精度。氦质谱检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。吸枪法（正压法）检漏与卤素检漏极为相似，但应注意的是容器内所充的示踪气体是不同的，即使有相同的漏率值，其意义也是不同的，能够区分这一点很重要。除实验测试比较法以外另有计算式Q1η1= Q2η2（Q为气体的泄漏流量，η为气体的粘度系数），Q1M11/2= Q2M21/2（M为气体的分子量）。吸枪法检漏中应注意以下几个问题：

1、灵敏度受连接管道的流导的限制。

2、初次检漏时、被检件体内切勿充入过高压力的氦气。因为如果有漏孔，氦气会从被检件物中漏出，造成较大浪费，而且氦气到处扩散，给检漏仪带来非常大的干扰。氦气在氦质谱检漏仪检漏中作为示踪气体使用，纯度要求不高，一般选用工业用氦，即氦含量≥99%，露1点≤43℃。因此，一般应先向被检件物内充以低压力、低浓度的氦气，再充入高压力，高浓度的氦气，对小漏孔进行检漏。如果存在较大漏孔时，可对检件体先进行加压水中发泡法检大漏，这样既可以减少氦气的浪费，因为氦气较贵（不同浓度的价格也不同），又可避免对氦检漏仪的氦的损害。